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    直線電機十字疊加精密運動平臺
    發布時間:2016-9-13 17:42:26 查看次數:

    直線電機十字疊加精密運動平臺采用進口直線電機、導軌、光柵、驅動器,在300mm行程范圍內定位精度達到正負5um,重復定位精度正負0.5-1um,速度1M/s以上,加速度3g以上。

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